X-Ray Photoelectron Spectroscopy הינה טכניקה יעילה ללימוד ההרכב הכימי של פני השטח של חומרים. האינפורמציה שניתן לקבל בשיטה זו כוללת זיהוי של יסודות שונים (פרט למימן) וכמותם היחסית, מצבי החמצון של היסודות ונוכחות של קבוצות פונקציונליות שונות על פני השטח החיצוניים ביותר של הסובסטרט הנבדק. בשיטה זו חושפים את פני השטח של הדוגמא לקרינת X מונוכרומטית בעלת אנרגיה של 1–3 keV, שמקורה מאלומיניום (1487 eV) או מגנזיום (1254 eV). קרינה זו פוגעת בפני השטח וגורמת ליצירת פוטו-אלקטרונים מרמות פנימיות, באנרגיה האופיינית לכל יסוד הנמצא על פני השטח. אלקטרונים אלו נאספים על ידי Collector והאנרגיה הקינטית שלהם נמדדת. מהאנרגיה הקינטית ניתן לחשב את אנרגית הקישור (binding energy) האופיינית לכל יסוד.
אנליזת פני שטח נעשת באמצעות X-Ray Photoelectron Spectroscopy) XPS),
Thermo Scientific Nexsa
לפרטים: ד"ר יוסי גופר
